Anwendung von Drucksensoren in der Wasseraufbereitung
Unser Die Umweltschutzwasseraufbereitungsindustrie des Landes hat sich in den letzten Jahren rasant entwickelt und hat eine glänzende Zukunft.
Im Prozess der Wasserversorgung und AbwasseraufbereitungDrucksensorSie dienen als wichtige Steuerungs- und Überwachungsmittel für den Systemschutz und die Qualitätssicherung.
DerDrucksensorwandelt den Druck (bezieht sich im Allgemeinen auf den Druck einer Flüssigkeit oder eines Gases) in ein elektrisches Ausgangssignal um, und das elektrische Drucksignal kann auch zur Messung des Flüssigkeitsstands der statischen Flüssigkeit verwendet werden, sodass es zur Messung des Flüssigkeitsstands verwendet werden kann.
Die empfindlichen Komponenten des Drucksensors bestehen hauptsächlich aus einem empfindlichen Siliziumbecherelement, Silikonöl, einer Isolationsmembran und einem Luftführungsrohr. Der Druck P des Messmediums wird über die Isolationsmembran und das Silikonöl auf eine Seite des Silikonbecherelements übertragen (siehe Abbildung), und der atmosphärische Referenzdruck po wirkt über den Luftkanal auf die andere Seite des Silikonbecherelements . Das Siliziumbecherelement ist ein becherförmiger einkristalliner Siliziumwafer mit dünnem Boden. Unter der Wirkung von Druck P und Po erzeugt die Membran am Boden des Bechers eine elastische Verformung mit minimaler Verschiebung. Einkristallines Silizium ist ein idealer elastischer Körper, seine Verformung ist streng proportional zum Druck und seine Erholungsleistung ist ausgezeichnet.
Die vier durch den Halbleiterdiffusionsprozess auf der Siliziummembran gebildeten Brückenwiderstände sind quadratisch angeordnet. Wenn sich die Siliziummembran unter Druck verformt, unterliegen die beiden Widerstände auf der Diagonale einer Druckspannung, während die beiden anderen Widerstände einer Zugspannung ausgesetzt sind. Aufgrund des piezoresistiven Effekts von diffundiertem Silizium erhöht sich der Widerstand der beiden relativen Widerstände und der Widerstand der anderen beiden Widerstände nimmt ab. Wenn an die beiden Anschlüsse von AA eine Spannung angelegt wird, wird ein Spannungssignal ausgegeben, das proportional zum P-Po-Differenzdruck zwischen CD ist.
